ማሞቅ mocvd ሬአክተር ከማስተዋወቅ ጋር

የኢንደክሽን ማሞቂያ የብረታ ብረት ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (MOCVD) ሪአክተሮች የማሞቂያ ቅልጥፍናን ለማሻሻል እና ጎጂ መግነጢሳዊ ትስስርን ከጋዝ ማስገቢያ ጋር ለመቀነስ ያለመ ቴክኖሎጂ ነው። ተለምዷዊ ኢንዳክሽን-ማሞቂያ MOCVD ሬአክተሮች ብዙውን ጊዜ የኢንደክሽን መጠምጠሚያው ከክፍሉ ውጭ የሚገኝ ሲሆን ይህም አነስተኛ ብቃት ያለው ማሞቂያ እና በጋዝ አቅርቦት ስርዓት ላይ መግነጢሳዊ ጣልቃገብነትን ያስከትላል። የቅርብ ጊዜ ፈጠራዎች የማሞቅ ሂደቱን ለማሻሻል እነዚህን ክፍሎች ወደ ሌላ ቦታ ለመቀየር ወይም እንደገና ዲዛይን ለማድረግ ሀሳብ ያቀርባሉ, በዚህም በቫፈር ላይ ያለውን የሙቀት ስርጭት ተመሳሳይነት በማሻሻል እና ከመግነጢሳዊ መስኮች ጋር የተያያዙ አሉታዊ ተፅእኖዎችን ይቀንሳል. ይህ እድገት ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ሴሚኮንዳክተር ፊልሞችን በማምጣት በማስቀመጥ ሂደት ላይ የተሻለ ቁጥጥርን ለማግኘት ወሳኝ ነው።

ማሞቂያ MOCVD ሬአክተር ከኢንደክሽን ጋር
የብረታ ብረት ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (MOCVD) ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶችን ለመሥራት የሚያገለግል ወሳኝ ሂደት ነው. ቀጭን ፊልሞችን ከጋዝ ቀዳሚዎች ወደ ታችኛው ክፍል ላይ ማስቀመጥን ያካትታል. የእነዚህ ፊልሞች ጥራት በአብዛኛው የተመካው በማጣቀሻው ውስጥ ባለው የሙቀት መጠን ተመሳሳይነት እና ቁጥጥር ላይ ነው። የኢንደክሽን ማሞቂያ የMOCVD ሂደቶችን ውጤታማነት እና ውጤት ለማሻሻል እንደ ውስብስብ መፍትሄ ብቅ አለ.

በMOCVD Reactors ውስጥ የመግቢያ ማሞቂያ መግቢያ
ኢንዳክሽን ማሞቂያ የኤሌክትሮማግኔቲክ መስኮችን ለማሞቅ የሚጠቀም ዘዴ ነው. በMOCVD ሪአክተሮች አውድ ውስጥ ይህ ቴክኖሎጂ በባህላዊ ማሞቂያ ዘዴዎች ላይ በርካታ ጥቅሞችን ይሰጣል. በንጥረቱ ውስጥ የበለጠ ትክክለኛ የሙቀት ቁጥጥር እና ተመሳሳይነት እንዲኖር ያስችላል። ይህ ከፍተኛ ጥራት ያለው የፊልም እድገትን ለማግኘት ወሳኝ ነው.

የኢንደክሽን ማሞቂያ ጥቅሞች
የተሻሻለ የማሞቂያ ውጤታማነት; የኢንደክሽን ማሞቂያ ሙሉውን ክፍል ሳያሞቁ ተጠርጣሪውን (የመያዣውን መያዣ) በቀጥታ በማሞቅ የተሻሻለ ቅልጥፍናን ያቀርባል. ይህ ቀጥተኛ የማሞቂያ ዘዴ የኃይል ብክነትን ይቀንሳል እና የሙቀት ምላሽ ጊዜን ይጨምራል.

የተቀነሰ ጎጂ መግነጢሳዊ ትስስር; የኢንደክሽን ሽቦውን እና የሬአክተር ክፍሉን ዲዛይን በማመቻቸት ኤሌክትሮኒክስ ሬአክተሩን እና የተከማቹትን ፊልሞች ጥራት ላይ አሉታዊ ተጽዕኖ ሊያሳድር የሚችለውን መግነጢሳዊ ትስስር መቀነስ ይቻላል ።

ዩኒፎርም የሙቀት ስርጭት; ተለምዷዊ የMOCVD ሪአክተሮች ብዙውን ጊዜ ከኒውኒፎርም የሙቀት መጠን ስርጭት ጋር በመታገል የፊልም እድገት ላይ አሉታዊ ተጽዕኖ ያሳድራሉ። የኢንደክሽን ማሞቂያ, የማሞቂያውን መዋቅር በጥንቃቄ በመንደፍ, የሙቀት ስርጭትን ተመሳሳይነት በእጅጉ ያሻሽላል .

የንድፍ ፈጠራዎች
የቅርብ ጊዜ ጥናቶች እና ዲዛይኖች የተለመዱትን ገደቦች በማሸነፍ ላይ ያተኮሩ ናቸው ማሞቂያ ማሞቂያ በ MOCVD ሪአክተሮች ውስጥ. እንደ ቲ-ቅርጽ ያለው ሱስሴፕተር ወይም የ V ቅርጽ ያለው ማስገቢያ ንድፍ ያሉ ልብ ወለዶችን በማስተዋወቅ ተመራማሪዎች የሙቀትን ተመሳሳይነት እና የማሞቂያ ሂደትን ውጤታማነት የበለጠ ለማሻሻል ይፈልጋሉ። በተጨማሪም ፣ በቀዝቃዛ ግድግዳ MOCVD ሬአክተሮች ውስጥ ባለው የማሞቂያ መዋቅር ላይ የተደረጉ የቁጥር ጥናቶች የሬአክተር ዲዛይን ለተሻለ አፈፃፀም ግንዛቤዎችን ይሰጣሉ ።

በሴሚኮንዳክተር ፋብሪካ ላይ ተጽእኖ
የ ውህደት የኢንደክሽን ማሞቂያ MOCVD ሪአክተሮች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ ትልቅ እርምጃን ይወክላል። የማስቀመጫ ሂደቱን ቅልጥፍና እና ጥራትን ብቻ ሳይሆን የላቀ የኤሌክትሮኒክስ እና የፎቶኒክ መሳሪያዎችን ለማዘጋጀት አስተዋፅኦ ያደርጋል.